최근 'SSLCHINA 2021: 미니/마이크로 LED 기술 산업 애플리케이션 포럼'에서 중국 마이크로 반도체 장비(상하이)의 MOCVD 공정 기술 책임자인 후젠젠징(Hu Jianzheng)은 중국 마이크로 반도체(상하이)의 블루 및 그린 미니LED 생산에 사용되는 프리스모 유니맥스® MOCVD 장비를 공유했습니다. 최신 개발.
Hu Jianzheng은 조명에 사용되는 기존 LED와 비교하여 미니 /마이크로 LED 에피 택시 웨이퍼는 파장 균일성과 입자 수에 대한 보다 엄격한 요구 사항을 가지고 있다고 소개했습니다. 에피택시 웨이퍼의 파장 균일성을 개선하고 입자를 줄이기 위해 새로운 MOCVD 플랫폼을 개발할 필요가 있다. 수량, 미니 /마이크로 LED의 상업적 적용을 실현하기 위해.
미니LED의 양산에 사용할 수 있는 중국 마이크로일렉트로닉스가 개발한 최신 MOCVD 플랫폼 프리스모 유니맥스(Prismo UniMax®)는 현지 온도장미세 조정과 유동장 최적화를 통해 4"와 6"기판에서 재배된 청록색 LED가 좋은 결과를 달성했습니다. 41×4" 구성의 조건하에서, 블루 LED 칩 내와 사이 파장의 균일성도 각각 0.71 nm 및 0.87 nm(1μm)로 매우 높습니다. 10×6" 구성의 조건하에서, 블루 LED 칩의 파장이 균일하여 성능이 0.84nm(1μm)에 도달하고, 100mm×100mm 정사각형 플레이트의 파장의 최대 및 최소 차이는 2.4nm만큼 낮다. 평균 파장 530nm의 6인치 그린 LED의 경우 온칩 파장 균일성은 1.04nm(1μm)이며, 100mm×100mm 제곱칩의 파장의 최대 및 최소 차이는 4.6nm에 불과하다.
중국 마이크로일렉트로닉스의 공식 웹사이트에 따르면, 구성 측면에서 프리스모 유니맥스® MOCVD 장비는 최대 4개의 반응 챔버를 가지고 있으며, 이 챔버는 108 4인치 또는 40인치 고성능 갈륨 질화물 기반의 블루 그린 MiniLED 에피탈 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. 조정은 164 4 인치 또는 72 6 인치 에피 택시 웨이퍼를 동시에 처리하기 위해 확장 될 수 있으며, 그 공정 능력은 또한 8 인치 에피 택시 웨이퍼를 성장하기 위해 확장 될 수있다. 또한 785mm 대지량 흑연 트레이가 장착되어 있어 장비 생산 능력을 크게 향상시키고 MiniLED 에피택시 웨이퍼의 생산 비용을 효과적으로 절감할 수 있습니다.
프리스모 유니맥스® MOCVD 장비는 올해 6월에 정식 출시되었으며, 주로 GaN 기반의 MiniLED 에피택시 웨이퍼의 양산에 사용되는 것으로 알려졌다. 12월 9일, 중국 마이크로일렉트로닉스는 프리스모 유니맥스® MOCVD 장비 주문이 100개 이상의 캐비티를 초과했다고 발표했다.
중국 마이크로 반도체 장비 유한 회사는 2004년에 설립되어 상하이에 본사를 둔 것으로 이해됩니다. 2019년에는 상하이 증권거래소의 과학기술혁신위원회에 상장되었습니다. 주로 첨단 반도체 장비 및 범반도체 장비의 연구 개발, 생산 및 판매에 종사하고 있습니다. 이 회사의 제품 유통은 CCP 에칭 장비, ICP 에칭 장비, 딥 실리콘 에칭 장비, MOCVD 장비, VOC 정화 장비입니다.
그 중에서도 중국 마이크로일렉트로닉스가 개발한 프리스모 시리즈 MOCVD 장비는 블루 그린 LED, 딥 자외선 LED 및 전력 장치를 포함한 그룹 III 질산을 기반으로 하는 다양한 장치의 생산에 널리 사용될 수 있다. 현재 중국 마이크로의 MOCVD 장비는 업계의 주요 LED 생산 라인에 대량 생산에 투입되었습니다.
2020년 중국 마이크로일렉트로닉스는 전년 대비 16.76% 증가한 2조2730억 위안의 영업이익을 달성했다. 상장기업의 주주에 귀속되는 순이익은 전년 대비 161.02% 증가한 4억9천2백만 위안이었다. 2021년 상반기 중국마이크로의 영업이익은 전년 대비 36.82% 증가한 13억3,900만 위안이었다. 상장기업의 주주에 귀속되는 당기순이익은 전년 대비 233.17% 증가한 3억9천700만 위안이었다.
