최근 Xiamen University의 연구팀은 모따기된 피라미드/테이블{0}모양의 인공 나노구조를 혁신적으로 설계했습니다. 나노임프린팅, 건식 식각 기술 및 습식 식각 공정의 결합을 통해 발광 파장이 234 nm로 짧습니다. (AlN)8/(GaN)2 활성층은 (0001), (10-13) 및 (20- 21) 미세하게 제어 가능한 각도를 가진 결정면 그룹. 흥미롭게도 이러한 결정면은 나노구조에서 심자외선 광파의 전파 및 추출 모드를 제어할 수 있어 기존의 평면 구조에서 나가는 빛의 작은 원뿔 각도의 한계를 효과적으로 돌파하고 심자외선 광의 추출 효율을 크게 향상시킬 수 있습니다.
연구에 따르면 결정면을 제어할 수 있는{0}역 피라미드/테이블 구조의 도입 후 TM 및 TE 편광은 평면 구조에 비해 각각 5.6배 및 1.1배 향상되었으며 전체 광도는 234 nm의 심자외선 파장에서 강도가 거의 2% 증가합니다. 타임스. 이 연구 작업은 심자외선 단파-방출 장치의 효율성을 개선하기 위한 새로운 아이디어를 제공하며 초소형 LED 및{9}}광전자 장치로 확장될 것으로 예상됩니다. 깊은 자외선 감지기.
그림 1. (a) 나노임프린팅에 의한 나노포어 어레이 제조 공정의 개략도. (b)-(c) (AlN)8/(GaN)2 초단기-초격자의 구조적 특성 (d)-( f) 나노홀의 미세한 모양 및 (g)-(h) 역 피라미드/테이블 나노홀 어레이
그림 2. (a) 기존의 평면, 원형 나노홀 및 모따기된 피라미드/테이블 나노홀의 광발광 스펙트럼. (b) 내부 양자 효율, TE/TM 광 추출 효율 및 3가지 나노구조의 전반적인 광도 향상 요인 분포 플롯.
The related research results were published in the Royal Society of Chemistry journal Nanoscale under the title of "Enhancing deep-UV emission at 234 nm by introducing a truncated pyramid AlN/GaN nanostructure with fine-tuned multiple facets" and recommended as the cover research work of the journal ( Back Inside Cover). The relevant testing work was supported by the research group of Professor Yang Zhizhong of National Taiwan University.
